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 展示パネル@MEMSセンシング&ネットワークシステム展(2016.9.14-16)
 MEMSセンシング&ネットワークシステム展(2016.9)における展示パネルです。
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コアモニタリングシステムの研究開発
(概要、研究開発体制など)
コアモニタリング用センシング・発電デバイスの開発
(担当:産業技術総合研究所)
コアモニタリング用AlN圧電デバイスのウエハレベルパッケージ技術の開発
(担当:マイクロマシンセンター)
振動センサ、無線、制御回路の小型パッケージと回転機への固定部の開発
(担当:明星電気)
コアモニタリング用ネットワークシステムの開発
(担当:沖電気工業)
コアモニタリングシステムの開発
(担当:高砂熱学工業)
コアモニタリングシステムの構築と実証
(担当:高砂熱学工業)
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