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展示パネル＠ナノマイクロビジネス展（2015.4.22-24）
ナノマイクロビジネス展（2015.4）における展示パネルです。
閲覧/ダウンロードが可能です（すべてPDFファイル）。
コアモニタリングシステムの研究開発
（概要、研究開発体制など）
コアモニタリング用センシング・発電デバイスの開発
（担当：産業技術総合研究所）
コアモニタリング用AlN圧電デバイスのウエハレベルパッケージ技術の開発
（担当：マイクロマシンセンター）
振動センサ、無線、制御回路の小型パッケージと回転機への固定部の開発
（担当：明星電気）
コアモニタリング用ネットワークシステムの開発
（担当：沖電気工業）
コアモニタリングシステムの開発
（担当：高砂熱学工業）
コアモニタリングシステムの構築と実証
（担当：高砂熱学工業）
一般財団法人マイクロマシンセンター
技術研究組合NMEMS技術研究機構
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